[发明专利]雾发生装置及成膜装置

说明书

本发明提供一种能够供给具有稳定的浓度的雾的技术。本发明提供的雾发生装置，具备：贮存槽，其贮存溶液；超声波换能器，其向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾；以及雾送出通道，其从贮存槽的内部向贮存槽的外部送出雾。在将贮存的溶液的深度设为d，将贮存的溶液的液面的面积设为S时，满足d≤S^0.5的关系。

技术领域

本说明书公开的技术涉及雾发生装置及成膜装置。

背景技术

专利文献1的雾发生装置具备贮存溶液的贮存槽和超声波换能器。超声波换能器向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾化的溶液经由与贮存槽连接的雾送出通道被供给到雾发生装置的外部。

现有技术文献

专利文献

[专利文献1]日本特开2016-190172号公报

发明要解决的技术问题

如果贮存槽内贮存的溶液被雾化，则溶液的液位下降。产生的雾在距溶液的液面特定高度位置处浓度是稳定的。因此，如果液位下降，则雾的浓度稳定的高度位置将变化。如果雾的浓度稳定的高度位置变化，则送至雾送出通道的雾的浓度变化。因此，在以往的雾发生装置中，难以将具有稳定的浓度的雾供给到雾发生装置的外部。在本说明书中，提供一种能够供给具有稳定的浓度的雾的技术。

发明内容

本说明书公开的雾发生装置具备：贮存槽，其贮存溶液；超声波换能器，其向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾；以及雾送出通道，其从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾。在将贮存的所述溶液的深度设为d，将贮存的所述溶液的液面的面积设为S时，满足d≤S^0.5的关系。

在上述雾发生装置中，在溶液的深度d与溶液的液面的面积S之间，d≤S^0.5的关系成立。在满足这样的关系的情况下，溶液的液位相对于溶液的消耗(即雾化)难以发生变动。因此，根据上述雾发生装置，在距溶液的液面特定高度位置处，能够稳定地产生具有固定浓度的雾。因此，能够将具有稳定的浓度的雾供给到外部。

附图说明

图1是实施例1所涉及的成膜装置的构成图。

图2是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例1)。

图3是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例2)。

图4是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例3)。

图5是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例4)。

图6是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例5)。

图7是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例6)。

图8是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例7)。

附图标记的说明

10：成膜装置；12：加热炉；12a：上游端；12b：下游端；13：基板载置台；14：加热器；20：雾发生装置；24：水槽；26：贮存槽；26a：底面；26b：上表面；26c：内侧面；28：超声波换能器；28a：振动面；40：雾送出通道；40a：流入口；40b：流出口；42：载气供给通道；42a：排放口；44：稀释气体供给通道；58：水；60：溶液；60a：液面；62：雾；64：载气；66：稀释气体；70：基板；80：排出管。

具体实施方式

(实施例1)