[发明专利]雾发生装置及成膜装置

权利要求书

1.一种雾发生装置，具备：

贮存槽，其贮存溶液；

超声波换能器，其向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾；以及

雾送出通道，从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾，

在将贮存的所述溶液的深度设为d，将贮存的所述溶液的液面的面积设为S时，满足d≤S^0.5的关系。

2.根据权利要求1所述的雾发生装置，其中，

所述超声波换能器设置在所述贮存槽的下部，

在将从所述超声波换能器到所述溶液的所述液面的距离设为h，将从所述溶液的所述液面到所述贮存槽的上表面的距离设为H时，满足2h≤H的关系。

3.根据权利要求2所述的雾发生装置，其中，在将从所述溶液的所述液面到所述雾送出通道的流入口的距离设为L1时，满足h≤L1的关系。

4.根据权利要求3所述的雾发生装置，其中，满足L1＜H的关系。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的雾发生装置，其中，具备多个所述超声波换能器。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的雾发生装置，其中，在沿铅垂方向俯视所述贮存槽时，所述超声波换能器配置在不与所述雾送出通道的流入口交叠的位置。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的雾发生装置，其中，所述雾送出通道的流入口与所述贮存槽的内侧面分离。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的雾发生装置，其中，

还具备向所述贮存槽内排放载气的载气供给通道，

所述载气供给通道的排放口比所述雾送出通道的流入口更靠上方。

9.根据权利要求8所述的雾发生装置，其中，与所述雾送出通道的所述流入口相比，所述载气供给通道的所述排放口配置得更靠近所述贮存槽的内侧面。

10.根据权利要求8或9所述的雾发生装置，其中，具备多个所述载气供给通道的所述排放口。

11.根据权利要求1～10中任意一项所述的雾发生装置，其中，

垂直于所述超声波换能器的振动面的垂直线相对于所述贮存槽的内侧面倾斜，

在将所述垂直线与所述内侧面之间的角度设为θ，将位于所述垂直线朝向的方向上的所述内侧面与所述振动面的中心之间在水平方向上的距离设为L2时，满足H+h≤L2·tan(π/2-θ)的关系。

12.一种成膜装置，具备：

权利要求1～11中任意一项所述的雾发生装置；以及

容纳基体并进行加热的加热炉，

所述雾送出通道的流出口与所述加热炉连接，

向所述基体的表面供给所述溶液的所述雾，使膜在所述基体的所述表面生长。