[发明专利]液晶显示单元的形成方法及其液晶显示单元

摘要

公开了一种液晶显示单元的形成方法及其液晶显示单元，方法中，加热第二绝缘膜到预定温度后，在其上溅射形成非晶体氧化物半导体膜，在第一侧的第一绝缘膜及其向相对于第一侧的第二侧方向延伸的部分非晶体氧化物半导体膜上表面溅射第一导电层，掩模蚀刻第一导电层形成源极，对第一导电层和第二导电层下的非晶体氧化物半导体膜引入第一掺杂剂，在第三绝缘膜上溅射包含氧化钨的铟锌氧化物以形成栅极，经由第四绝缘膜、源极及漏极对非晶体氧化物半导体膜引入第二掺杂剂形成小于非晶体氧化物半导体膜平均电阻的第一电阻区域，加热第一电阻区域一个小时，薄膜晶体管上层叠电连接的第一电极层，液晶层和第二电极层依次层叠于第一电极层上。