[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010317069.2 | 申请日: | 2020-04-21 |
公开(公告)号: | CN113540228A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 周钰杰;林琮翔 | 申请(专利权)人: | 世界先进积体电路股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L21/335 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛;汤在彦 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种半导体装置。半导体装置包括:基板;缓冲层,位于基板上;阻挡层,位于缓冲层上,其中通道区位于缓冲层中,且邻近于缓冲层与阻挡层的界面;掺杂化合物半导体层,位于一部分的阻挡层上;未掺杂的第一盖层,位于掺杂化合物半导体层上;栅极结构,位于未掺杂的第一盖层上;以及源极/漏极结构,分别位于栅极结构的两侧。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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