[发明专利]化学沉积气体布散结构及其装置

摘要

本发明公开了一种化学沉积气体布散结构及其装置，其中化学沉积装置主要包括工序腔，工序腔内上部设有气体布散结构，所述气体布散结构包括上下正对设置的导气板和上部电极，导气板中部具有注气孔，上部电极上分布有气孔，导气板和上部电极之间设有呈薄板结构的扩散板，扩散板上分布有上下贯通的扩散孔，所述扩散孔相对于注气孔周向均匀分布，工序腔下部具有正对上部电极设置的下部电极。通过各种扩散和导向结构相互配合，在不改变现有上部电极大体结构前提下，大大提高注入化学气体沉积覆盖面积和沉积均匀度等，保证产品气相沉积薄膜质量，即大大提高化学沉积装置的性能和产品良品率。