[发明专利]一种自测试MEMS热电堆红外探测器在审
| 申请号： | 202010297662.5 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111397746A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 丁雪峰;张琛琛;毛海央 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李亚南 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的自测试MEMS热电堆红外探测器，包括衬底及层叠设置于其表面的支撑层，支撑层背离衬底的表面设置有热电堆组件及红外吸收单元，红外吸收单元与热电堆组件接触以实现两者热连通，热电堆组件和红外吸收单元之间设置有电绝缘结构；还包括自检部件，当其施压端外接电源及接地端接地时，其产生的热量通过红外吸收单元传导至热电堆组件使之产生电势差，从而可以得到热电堆的电学响应率；通过将两次施压得到的电学响应率差值与响应率差值预设阈值对比，即可判断器件是否正常工作，从而实现了MEMS热电堆探测器自测试功能避免使用专门设备进行测试，有效降低了测试成本，减少了器件测试过程的耗时，使器件的使用更加便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 mems 热电 红外探测器 | ||
【主权项】：
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