[发明专利]一种碳化硅晶体减薄用砂轮、制备方法及其应用有效
申请号: | 202010289636.8 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN111347354B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 王礼华;张高亮;赵延军;左冬华;钱灌文;叶腾飞 | 申请(专利权)人: | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
主分类号: | B24D3/28 | 分类号: | B24D3/28;B24D18/00 |
代理公司: | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人: | 王红培;郑园 |
地址: | 450001 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明提供了一种碳化硅晶体减薄用砂轮、制备方法及其应用,砂轮具有多孔结构,原料按重量百分比包括:金刚石磨料15‑40%、酚醛树脂粉10‑35%、发泡剂3‑15%、氟化钙5‑20%、二硫化钨3‑15%、氧化铈3‑15%、冰晶石5‑20%、硬脂酸锌0.5‑6%。该方法制备的树脂结合砂轮具有多孔结构,孔隙率高,磨削时可以起到容屑作用,增加砂轮锋利性。同时,多孔结构建立的结合剂桥,在磨削时产生有效断裂,砂轮自锐性好,减少修整频次。砂轮体系中具体氟化钙和润滑剂材料可以降低砂轮摩擦系数,从而有效降低磨削热,提高磨削碳化硅晶片表面质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 晶体 减薄用 砂轮 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
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