[发明专利]一种ALD辅助氮掺杂微纳铝粉制备多孔阳极铝箔的方法

摘要

本发明公开了一种ALD辅助氮掺杂微纳铝粉制备多孔阳极铝箔的方法，首先利用铝粉或铝合金粉末对铝箔进行涂覆处理，再通过ALD技术，辅以等离子体增强，以铝金属有机化合物作为前驱体，在电极箔表面沉积一层氮化铝，经过高温煅烧、阳极氧化、退火、补形成，制得氮掺杂的多孔阳极铝箔。利用该方法制备得到的电极箔具有较高的静电容量和击穿场强，具有较小的漏电流，对铝粉进行均匀掺氮，氮化铝在表面起到钝化作用，从而降低纳米或亚微米粉末氧化着火的风险，大大增加了电极箔储存、运输过程中的安全性。