[发明专利]阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质在审
| 申请号： | 202010253669.7 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111800931A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 加藤秀生 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质，阻抗匹配装置对构成阻抗匹配装置的各部件的异常进行自我诊断，具有：可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；第一检测器，其检测用于判断高频电源与负载之间的阻抗匹配的指标值及表示从高频电源输入的高频的状态的第一状态值；第二检测器，其检测表示向负载输出的高频的状态的第二状态值；调整部，其逐步调整可变电容元件的电容值，以使由第一检测器检测出的指标值落在表示阻抗匹配完成的目标范围内；以及诊断部，其基于由调整部调整后的电容值、由第一检测器检测出的第一状态值以及由第二检测器检测出的第二状态值来对可变电容元件、第一检测器或第二检测器的异常进行诊断。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 装置 异常 诊断 方法 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010253669.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
