[发明专利]阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质

说明书

本发明提供一种阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质，阻抗匹配装置对构成阻抗匹配装置的各部件的异常进行自我诊断，具有：可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；第一检测器，其检测用于判断高频电源与负载之间的阻抗匹配的指标值及表示从高频电源输入的高频的状态的第一状态值；第二检测器，其检测表示向负载输出的高频的状态的第二状态值；调整部，其逐步调整可变电容元件的电容值，以使由第一检测器检测出的指标值落在表示阻抗匹配完成的目标范围内；以及诊断部，其基于由调整部调整后的电容值、由第一检测器检测出的第一状态值以及由第二检测器检测出的第二状态值来对可变电容元件、第一检测器或第二检测器的异常进行诊断。

技术领域

本公开涉及一种阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质。

背景技术

以往，已知一种使用等离子体对晶圆等被处理体进行等离子体处理的等离子体处理装置。这种等离子体处理装置例如在能够构成真空空间的处理容器内具有兼具电极的功能的、保持被处理体的载置台。等离子体处理装置向载置台施加来自高频电源的规定的高频，来对载置于载置台的被处理体进行等离子体处理。在高频电源与作为负载的处理容器之间配置有用于进行高频电源与处理容器之间的阻抗匹配的阻抗匹配装置。阻抗匹配装置例如具有连接在高频电源与负载之间的可变电容元件，并通过调整可变电容元件的电容值来进行阻抗匹配。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-295447号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种能够对构成阻抗匹配装置的各部件的异常进行自我诊断的技术。

用于解决问题的方案

本公开的一个方式所涉及的阻抗匹配装置具备：可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；第一检测器，其检测用于判断所述高频电源与所述负载之间的阻抗匹配的指标值以及表示从所述高频电源输入的高频的状态的第一状态值；第二检测器，其检测表示向所述负载输出的高频的状态的第二状态值；调整部，其逐步地调整所述可变电容元件的电容值，以使得由所述第一检测器检测出的指标值落在表示所述阻抗匹配完成的目标范围内；以及诊断部，其基于由所述调整部调整后的电容值、由所述第一检测器检测出的第一状态值以及由所述第二检测器检测出的第二状态值，来对所述可变电容元件、所述第一检测器或所述第二检测器的异常进行诊断。

发明的效果

根据本公开，起到能够对构成阻抗匹配装置的各部件的异常进行自我诊断的效果。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的等离子体处理装置的结构的概要截面图。

图2是示出第一实施方式所涉及的阻抗匹配装置的结构的一例的图。

图3是示出第一实施方式所涉及的阻抗匹配装置的处理动作的一例的流程图。

图4是示出第二实施方式所涉及的阻抗匹配装置的结构的一例的图。

图5是示出第二实施方式所涉及的阻抗匹配装置的处理动作的一例的流程图。

图6是示出第三实施方式所涉及的阻抗匹配装置的结构的一例的图。

图7是示出第三实施方式所涉及的阻抗匹配装置的处理动作的一例的流程图。

附图标记说明