[发明专利]阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质

权利要求书

1.一种阻抗匹配装置，其具有：

可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；

第一检测器，其检测用于判断所述高频电源与所述负载之间的阻抗匹配的指标值以及表示从所述高频电源输入的高频的状态的第一状态值；

第二检测器，其检测表示向所述负载输出的高频的状态的第二状态值；

调整部，其逐步地调整所述可变电容元件的电容值，以使得由所述第一检测器检测出的指标值落在表示所述阻抗匹配完成的目标范围内；以及

诊断部，其基于由所述调整部调整后的电容值、由所述第一检测器检测出的第一状态值以及由所述第二检测器检测出的第二状态值，来对所述可变电容元件、所述第一检测器或所述第二检测器的异常进行诊断。

2.根据权利要求1所述的阻抗匹配装置，其中，

所述第一检测器检测从所述高频电源输入的高频的电压与电流之间的相位差来作为所述指标值，并检测从所述高频电源输入的高频的功率值作来为所述第一状态值，

所述第二检测器检测向所述负载输出的高频的功率值来作为所述第二状态值，

所述调整部逐步地调整所述可变电容元件的电容值，以使得由所述第一检测器检测出的所述相位差落在所述目标范围内，

所述诊断部基于由所述调整部调整后的电容值和由所述第一检测器检测出的功率值，来计算向所述负载输出的高频的功率值的理论值，在计算出的所述功率值的理论值与由所述第二检测器检测出的功率值的差为规定阈值以上的情况下，判断为发生了所述异常。

3.根据权利要求1所述的阻抗匹配装置，其中，

所述第一检测器检测从所述高频电源输入的高频的电压与电流之间的相位差来作为所述指标值，并检测从所述高频电源输入的高频的功率值作为所述第一状态值，

所述第二检测器检测向所述负载输出的高频的高频电压的振幅值和所述负载侧的阻抗值来作为所述第二状态值，

所述调整部逐步地调整所述可变电容元件的电容值，以使得由所述第一检测器检测出的所述相位差落在所述目标范围内，

所述诊断部基于由所述调整部调整后的所述可变电容元件的电容值、由所述第一检测器检测出的功率值以及由所述第二检测器检测出的所述负载侧的阻抗值，来计算所述高频电压的振幅值的理论值，在计算出的所述高频电压的振幅值的理论值与由所述第二检测器检测出的高频电压的振幅值的差为规定阈值以上的情况下，判断为发生了所述异常。

4.一种阻抗匹配装置，其具备：

可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；

检测器，其检测用于判断所述高频电源与所述负载之间的阻抗匹配的指标值；

调整部，其逐步地调整所述可变电容元件的电容值，以使得由所述检测器检测出的指标值落在表示所述阻抗匹配完成的目标范围内；以及

诊断部，其监视通过所述调整部调整所述可变电容元件的电容值的次数、即电容值调整次数，并基于该电容值调整次数和由所述检测器检测出的指标值，来对所述可变电容元件或所述检测器的异常进行诊断。

5.根据权利要求4所述的阻抗匹配装置，其中，

所述检测器检测从所述高频电源输入的高频的电压与电流之间的相位差来作为所述指标值，

所述调整部逐步地调整所述可变电容元件的电容值，以使得由所述检测器检测出的所述相位差落在所述目标范围内，

在所述电容值调整次数达到规定次数，且由所述检测器检测出的所述相位差不落在所述目标范围内的情况下，所述诊断部判断为发生了所述异常。