[发明专利]开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法有效
| 申请号： | 202010238378.0 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111398638B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 谢晖;张号;耿俊媛;孟祥和;宋健民 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法，属于开尔文探针力显微镜测量技术领域。本发明是为了解决现有开尔文探针力显微镜不能实现半导体元器件上微纳三维结构的侧壁表面形貌和表面电势的测量的问题。它设计了新的正交探针结构，然后利用正交探针的扭转信号测量具有微纳米级三维结构样品侧壁的表面形貌和局部表面电势；方法中步骤一实现样品侧壁表面形貌的测量，步骤二和步骤三实现样品侧壁表面电势的测量，步骤四实现样品侧壁表面的成像测量。本发明用于实现微纳三维结构的样品侧壁表面形貌和局部表面电势的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 开尔文 探针 显微镜 系统 样品 侧壁 扫描 方法 | ||
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- 丁喜冬;李超;林国淙 - 中山大学
- 2011-10-13 - 2012-06-20 - G01Q60/30
- 本发明提供了一种开尔文探针力显微镜的间歇接触式测量方法，所述开尔文探针力显微镜包括扫描头、探针、探针位置感应器、压电激振器、压电扫描器、低频电压信号发生器、高频电压信号发生器、低频振动信号检测器、高频振动信号检测器、高频电压和补偿电压信号叠加器、开尔文反馈控制器和控制器，所述压电扫描器上放置有样品，本发明在已有开尔文探针力显微镜的基础上，采用探针和样品间歇接触的扫描模式、一遍扫描同时得到形貌和局域电势图像，扫描速度可提高一倍，同时可提高信号检测的灵敏度。
- 一种开尔文探针力显微镜及其测量方法-201010103017.1
- 丁喜冬;林国淙;张进修;梁仲文;李超 - 中山大学
- 2010-01-26 - 2010-07-28 - G01Q60/30
- 本发明提供一种开尔文探针力显微镜及其测量方法，包括扫描头(1)、低频电压信号发生器(2)、高频电压信号发生器(3)、高频振动信号检测器(4)、低频振动信号检测器(5)、电压信号叠加器(6)、补偿电压控制器(7)、主控制器(8)，所述低频电压信号发生器、高频电压信号发生器和主控制器的输出端均与扫描头电连接，所述高频振动信号检测器的输入端和输出端分别与扫描头和补偿电压控制器电连接，所述补偿电压控制器的输出端与主控制器电连接，所述低频振动信号检测器的输入端和输出端分别与扫描头和主控制器电连接。本发明的测量方法不会影响原子力显微镜原来的测量功能，并且可以提高开尔文探针力显微镜的空间分辨率和灵敏度。
- GaN基光伏探测器器件结构的电子学检测方法-201010101896.4
- 李天信;殷豪;夏辉;陆卫;包西昌;胡伟达;李宁;李志峰;陈效双;李向阳 - 中国科学院上海技术物理研究所
- 2010-01-27 - 2010-07-07 - G01Q60/30
- 本发明公开了一种GaN基光伏探测器器件结构的电子学检测方法，该方法是通过测量导电探针与器件结构剖面以及上表面的电位差并进行定标，得出器件结构的表面能带分布；再对得到的表面能带分布进行数值拟合，给出所测台面器件结构的表面电荷密度分布、表面及体内的电场分布等信息。本方法可以对GaN基光伏型探测器件功能材料各个区域的电子学分布特性给予直观的评估；对于改善GaN基光伏探测器件性能和优化器件设计都有重要价值。
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