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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]多集成尖端扫描探针显微镜-CN202310888296.4在审
发明人：夸梅·安蓬萨 -专利权人： 沙朗特有限责任公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：用于使用多集成尖端扫描探针显微镜检查来表征样本的装置和系统。多集成尖端(MiT)探针由定位到彼此nm内的两个或更多个整体集成的且可移动的AFM尖端组成，使得能够在真空或周围条件下进行前所未有的微尺度到纳米尺度的探针功能。尖端结构与电容式梳状结构组合，提供无激光、高分辨率、电接入、电断开致动和感测能力以及用于信号放大和降噪操作的与结型场效应晶体管的新颖集成。基于使用支撑齿轮：激光器、纳米定位器和电子器件的堆叠而功能化的多个单个尖端，该“片上平台”方法相对于当前技术来说是典范转移。
集成尖端扫描探针显微镜

[发明专利]用于制造纳电子机械系统探针的系统和方法-CN202310668183.3在审
发明人：夸梅·安蓬萨 -专利权人： 沙朗特有限责任公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01Q60/30 文献下载
摘要：用于制造用于扫描探针显微镜检查的多个集成尖端探针的系统和方法。根据实施例，一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，该显微镜探针包括：可移动探针尖端，其包括端子探针端；第一致动器，其被构造成使可移动探针尖端沿着第一轴移置；以及检测组件，其被构造成响应于施加的信号来检测可移动探针尖端的运动；其中可移动探针尖端包括贴附到支撑层的金属层，该金属层在端子探针端处的至少部分延伸超过支撑层。
用于制造电子机械系统探针方法

[发明专利]具有成角度探针的MEMS探针卡-CN202080044874.0在审
发明人：夸梅·安蓬萨;梅赫梅特·奥兹多甘;谭思睿 -专利权人： 沙朗特有限责任公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种探针芯片，由集成在单个基板上的多个探针组成。探针的布局可以被设计为与关于被测设备的特定特征相匹配。探针是弹簧加载的，以允许在与被测设备接触期间发生可逆地变形。探针芯片用于集成电路(IC)的详细电气和机械测试。
有成角度探针 mems

[发明专利]多集成尖端扫描探针显微镜-CN202010419363.4在审
发明人：夸梅·安蓬萨 -专利权人： 沙朗特有限责任公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：用于使用多集成尖端扫描探针显微镜检查来表征样本的装置和系统。多集成尖端(MiT)探针由定位到彼此nm内的两个或更多个整体集成的且可移动的AFM尖端组成，使得能够在真空或周围条件下进行前所未有的微尺度到纳米尺度的探针功能。尖端结构与电容式梳状结构组合，提供无激光、高分辨率、电接入、电断开致动和感测能力以及用于信号放大和降噪操作的与结型场效应晶体管的新颖集成。基于使用支撑齿轮：激光器、纳米定位器和电子器件的堆叠而功能化的多个单个尖端，该“片上平台”方法相对于当前技术来说是典范转移。
集成尖端扫描探针显微镜

[发明专利]多集成尖端扫描探针显微镜-CN201680024064.2有效
发明人：夸梅·安蓬萨 -专利权人： 沙朗特有限责任公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01Q60/04 文献下载
摘要：用于使用多集成尖端扫描探针显微镜检查来表征样本的装置和系统。多集成尖端(MiT)探针由定位到彼此nm内的两个或更多个整体集成的且可移动的AFM尖端组成，使得能够在真空或周围条件下进行前所未有的微尺度到纳米尺度的探针功能。尖端结构与电容式梳状结构组合，提供无激光、高分辨率、电接入、电断开致动和感测能力以及用于信号放大和降噪操作的与结型场效应晶体管的新颖集成。基于使用支撑齿轮：激光器、纳米定位器和电子器件的堆叠而功能化的多个单个尖端，该“片上平台”方法相对于当前技术来说是典范转移。
集成尖端扫描探针显微镜

[发明专利]用于制造纳电子机械系统探针的系统和方法-CN201680024285.X在审
发明人：夸梅·安蓬萨 -专利权人： 沙朗特有限责任公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： G01Q60/30 文献下载
摘要：用于制造用于扫描探针显微镜检查的多个集成尖端探针的系统和方法。根据实施例，一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，该显微镜探针包括可移动探针尖端，其包括端子探针端；第一致动器，其被构造成使可移动探针尖端沿着第一轴移置；以及检测组件，其被构造成响应于施加的信号来检测可移动探针尖端的运动；其中可移动探针尖端包括贴附到支撑层的金属层，该金属层在端子探针端处的至少部分延伸超过支撑层。
用于制造电子机械系统探针方法

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