[发明专利]一种工件架及镀膜系统

摘要

本发明属于镀膜技术领域，具体公开了一种工件架及镀膜系统。工件架包括：框架、前挡板、两个侧板、射频电极板和接地电极板，两个侧板和前挡板合围形成开口背向前挡板的容纳腔，侧板上的通孔与容纳腔连通；各电极板均设置于容纳腔内，且沿框架的高度方向间隔交替连接在框架上。镀膜系统包括反应室，反应室内设置有上述工件架，工件架通过共用电极板可拆卸连接在反应室内。本发明提供的工件架及镀膜系统，电场均匀性提高，不需要通过附加装置便能提高镀膜均匀性和镀膜效率，降低镀膜成本。