[发明专利]一种金黑图形化的方法有效
| 申请号： | 202010153880.1 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111392689B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张金英;李德芳;李卓;王欣;杨苏辉;郝燕 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金黑图形化的方法，属于微纳加工领域和红外探测领域。本方法在清洁干净的衬底上溅射一层金黑薄膜。再在金黑薄膜上旋涂聚酰亚胺溶液后，置于烘箱中烘干并自然降至室温。在聚酰亚胺薄膜层上制备光刻胶层。使用紫外曝光、显影工艺制作出光刻胶掩膜层。去除未被光刻胶覆盖的区域。刻蚀结束后，去除光刻胶，完成金黑图形化工艺。本发明使用聚酰亚胺薄膜层和金黑薄膜层结合的方法，可以有效地提高金黑薄膜的机械稳定性，使金黑薄膜能够经受溶液浸泡、氮气吹拂和超声震荡等操作；通过本发明所述的方法可以制作出图形化精度更高、机械性能更稳定、可兼容其他微纳加工工艺的金黑薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 方法 | ||
【主权项】：
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