[发明专利]工艺检测方法及系统、设备、存储介质有效
| 申请号： | 202010129485.X | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN113408236B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 孟阳;王伟斌;刘庆炜;吴宗晔 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392;G06T7/00;G06T7/13 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 300380 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种工艺检测方法及系统、设备、存储介质，工艺检测方法包括：提供基底，基底上形成有底层功能结构、以及位于底层功能结构上方的待检测功能层，待检测功能层中形成有开口，开口露出底层功能结构；提供底层功能结构的版图图形作为第一版图图形，提供开口的版图图形作为第二版图图形；获取开口的轮廓图形；对轮廓图形与第二版图图形进行第一叠加处理，获得第一叠加图形；根据第一叠加图形比较轮廓图形与第一版图图形的相对位置关系，并根据相对位置关系检测薄弱点。所述底层功能结构所对应的第一版图图形的边界清楚且完整，因此，通过比较轮廓图形与第一版图图形的相对位置关系的方式，使得判断结果更精准，相应提高了工艺检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 检测 方法 系统 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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