[发明专利]检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法有效
| 申请号： | 202010113630.5 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111307924B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 郭馨;江锐;王倩;周翊;赵江山;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种检测装置、检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，涉及光电技术领域，可判断放电腔部件内的钝化层是否钝化完成。一种检测装置，用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化程度，包括准分子激光器、测试腔、试样槽、钝化气瓶、质谱仪；准分子激光器包括放电腔部件；试样槽位于测试腔内；钝化气瓶和质谱仪分别与测试腔连接；试样槽，用于盛放从所述放电腔部件取样的钝化样品；钝化气瓶，用于向测试腔输入钝化气体，得到钝化层；质谱仪，用于检测测试腔内的有害气体的含量，并判断钝化是否完成。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 准分子激光 放电 部件 钝化 程度 方法 | ||
【主权项】：
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