[发明专利]检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法

权利要求书

1.一种检测装置，用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化程度，其特征在于，包括准分子激光器、测试腔、试样槽、钝化气瓶、质谱仪；

所述准分子激光器包括放电腔部件；所述试样槽位于所述测试腔内；所述钝化气瓶和所述质谱仪分别与所述测试腔连接；钝化气瓶与测试腔之间的连接管道、质谱仪与测试腔之间的连接管道的材质为经过钝化处理后的全氟橡胶；测试腔内表面的材质也是经过钝化处理后的全氟橡胶；

所述试样槽，用于盛放从所述放电腔部件取样的钝化样品；

所述钝化气瓶，用于向所述测试腔输入钝化气体，得到钝化层；

所述质谱仪，用于检测去除所述测试腔内的有害气体的含量，并判断钝化是否完成以及所述钝化样品是否适用于所述放电腔部件；所述检测装置还用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化适用性；

所述检测装置包括反射镜、聚焦透镜、调整平移台、以及控制器；

所述调整平移台，用于承载所述试样槽；所述控制器，用于控制调整平移台的位置；所述反射镜，用于反射所述准分子激光器出射的激光，并将所述激光反射至所述聚焦透镜上；所述聚焦透镜，用于将所述激光作用到所述试样槽中的钝化样品上，去除所述钝化层。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括真空泵，所述真空泵与所述测试腔连接。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括加热装置；

所述加热装置用于为所述测试腔加热。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括与所述钝化气瓶和所述测试腔连接的钝化气体阀、与所述质谱仪和所述测试腔连接的质谱仪气体阀。

5.一种检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，其特征在于，包括：

从放电腔部件中取样钝化样品，放入试样槽内；所述试样槽位于测试腔内；

利用钝化气瓶向所述测试腔输入钝化气体，生成钝化层，利用质谱仪对所述测试腔内生成的有害气体的含量进行检测；若所述有害气体的含量小于预设值，则钝化完成；否则，使所述测试腔恢复至真空状态，并再次向所述测试腔输入钝化气体，检测所述有害气体的含量，直至所述测试腔内的所述有害气体的含量小于所述预设值；钝化气瓶与测试腔之间的连接管道、质谱仪与测试腔之间的连接管道的材质为经过钝化处理后的全氟橡胶；测试腔内表面的材质也是经过钝化处理后的全氟橡胶；在钝化完成后，所述检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法还包括：

检测准分子激光器的放电腔部件的钝化适用性；

检测准分子激光器的放电腔部件的钝化适用性，包括：

利用反射镜将所述准分子激光器出射的激光反射至聚焦透镜上，利用控制器控制承载有试样槽的调整平移台的位置，利用聚焦透镜将所述激光作用到所述试样槽中的所述钝化样品上，直至去除所述钝化层；

利用钝化气瓶向所述测试腔输入钝化气体；

利用质谱仪对所述测试腔内生成的有害气体的含量进行检测，若所述有害气体的含量小于预设值，则所述钝化样品适用于所述放电腔部件；反之，不适用。

6.根据权利要求5所述的检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，其特征在于，在向所述测试腔输入钝化气体之前，所述检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法还包括：

利用真空泵将所述测试腔内的气体抽至真空状态。

7.根据权利要求6所述的检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，其特征在于，在向所述测试腔输入钝化气体之前，所述检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法还包括：

利用加热装置为所述测试腔加热。