[发明专利]掩膜板组件及其制作方法有效
| 申请号： | 202010076164.8 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111074205B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 肖磊芳;马国强;徐鹏;赵建成 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种掩膜板组件及其制作方法，掩膜板组件包括：框架；掩膜板，其具有掩膜区和位于所述掩膜区相对两侧的连接区；位于每个所述连接区中的多个第一连接部，其中，每个所述连接区中的多个所述第一连接部排成M行N列，每行包括多个所述第一连接部，每列包括至少一个所述第一连接部，在同一个所述连接区中，任意相邻两行的连接部交错设置，其中，M、N均为大于1的整数，所述掩膜板通过多个所述第一连接部固定在所述框架上。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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