[发明专利]固态成像器件及固态成像器件的制造方法

摘要

本发明涉及能够在抑制混色恶化的同时提高灵敏度的固态成像器件及固态成像器件的制造方法。固态成像器件包括：基板；第一光电转换区域，设置于基板；第二光电转换区域，与第一光电转换区域相邻地设置于基板；沟槽，深度大于宽度，且设置在第一光电转换区域与第二光电转换区域之间；第一蛾眼结构，在第一光电转换区域的上方设置于基板的光接收表面侧；第二蛾眼结构，在第二光电转换区域的上方设置于基板的光接收表面侧；绝缘膜，折射率小于基板的折射率，并且设置于沟槽内的至少一部分，且设置在第一蛾眼结构和第二蛾眼结构的上方；以及遮光膜，设置于绝缘膜的上方且沟槽的上方。本发明的技术可例如应用于背面照射型固态成像器件。