[发明专利]流量校准系统及方法、供气系统

摘要

本发明实施例涉及一种流量校准系统及方法、供气系统，流量校准方法包括：提供反应腔室、供气装置及质量流量控制器；在预设工艺温度下，采用测试气体进行流量测试，以得到流量信息图，所述流量信息图包括当前流量信息图；根据所述当前流量信息图校准质量流量控制器；其中，所述流量测试包括：控制供气装置通过处于标准流量规格下的所述质量流量控制器向反应腔室输送气体，且根据输送时间和相应的所述反应腔室的气压得到流量信息图。本发明能够获取质量流量控制器处于一标准流量规格时的流量信息图，并根据流量信息图校准质量流量控制器。