[发明专利]流量校准系统及方法、供气系统

权利要求书

1.一种流量校准方法，其特征在于，包括：

提供反应腔室、供气装置、校准模块及质量流量控制器，所述质量流量控制器包括预设的第一误差允许范围；

在预设工艺温度下，所述反应腔室内无反应沉积物，采用测试气体进行流量测试，以得到参照流量信息图；

所述反应腔室在得到所述参照流量信息图的工艺参数下运行一段时间后；在所述预设工艺温度下，采用得到所述参照流量信息图所使用的所述测试气体进行流量测试，得到当前流量信息图；

校准模块获取所述当前流量信息图的当前斜率，且获取所述参照流量信息图的参照斜率；所述当前斜率相对于所述参照斜率的误差处于所述第一误差允许范围时，所述校准模块调节所述质量流量控制器的参数，以使所述质量流量控制器的误差归零；

其中，所述流量测试包括：控制供气装置通过处于标准流量规格下的所述质量流量控制器向反应腔室输送气体，且根据输送时间和相应的所述反应腔室的气压分别得到参照流量信息图和当前流量信息图；

所述预设工艺温度大于室温。

2.根据权利要求1所述的流量校准方法，其特征在于，所述质量流量控制器包括与所述标准流量规格对应的误差允许规格；所述参照流量信息图包括误差流量信息图，所述得到所述参照流量信息图，还包括：在所述预设工艺温度下，采用所述测试气体对处于所述误差允许规格的所述质量流量控制器进行流量测试，以得到所述误差流量信息图。

3.根据权利要求1或2所述的流量校准方法，其特征在于，还包括：常温流量信息图，所述测试气体包括反应气体或惰性气体；在得到所述参照流量信息图之前，还包括：在常温下，采用所述反应气体对处于所述标准流量规格下的所述质量流量控制器进行流量测试，以得到常温流量信息图，并根据常温流量信息图和所述标准流量规格判断所述质量流量控制器的误差是否处于预设的第二误差允许范围内；若是，进行相应的流量测试，以得到所述参照流量信息图。

4.根据权利要求1或2所述的流量校准方法，其特征在于，所述参照流量信息图包括至少一个参照流量点，所述当前流量信息图包括至少两个当前流量点；其中，所述流量点包括所述输送时间与所述反应腔室的气压的对应关系。

5.根据权利要求2所述的流量校准方法，其特征在于，所述校准模块获取当前流量信息图的当前线性度；所述当前线性度不小于预设的标准线性度，且所述当前斜率相对于所述参照斜率的误差处于所述第一误差允许范围时，校准模块调节所述质量流量控制器的参数，以使所述质量流量控制器的误差归零。

6.根据权利要求5所述的流量校准方法，其特征在于，对调整参数后的所述质量流量控制器进行流量测试，具体包括：获取至少一个流量点，所述流量点包括所述输送时间与所述反应腔室的气压的对应关系。

7.根据权利要求5所述的流量校准方法，其特征在于，所述当前线性度小于所述标准线性度时，校准质量流量控制器，包括：更换所述质量流量控制器。

8.根据权利要求2所述的流量校准方法，其特征在于，所述流量信息图具有斜率和线性度；获取当前流量信息图的当前线性度和当前斜率，且获取所述参照流量信息图的参照斜率；所述当前线性度不小于预设的标准线性度，且所述当前斜率相对于所述参照斜率的误差大于所述第一误差允许范围时，

校准质量流量控制器包括：在常温下，对所述质量流量控制器进行流量测试，以得到所述质量流量控制器的常温流量信息图；所述校准模块根据所述常温流量信息图和所述标准流量规格获取所述质量流量控制器的常温误差，所述常温误差处于预设的第三误差允许范围时，所述校准模块调整所述质量流量控制器的参数并进行所述流量测试，直至所述质量流量控制器的所述常温误差归零；所述常温误差大于所述第三误差允许范围时，更换所述质量流量控制器。