[发明专利]改善阶梯结构中的半隔离字线的蚀刻裕量的虚设字线触点

摘要

具有三维(3D)阶梯存储器堆叠的存储器设备包括邻近半隔离连接器的虚设连接器。存储器设备包括堆叠在3D阶梯堆叠中的多条字线，包括在阶梯的区域的边缘处的字线。存储器设备包括垂直连接器，这些垂直连接器穿过3D阶梯堆叠上的隔离层来将字线与访问层中的导电线相连接。阶梯的区域的边缘处的字线具有垂直连接器，该垂直连接器在一侧将与一连接器相邻，在另一侧则不会。存储器设备包括在边缘上的字线的垂直连接器的边缘侧的至少一个虚设垂直连接器，其中虚设垂直连接器不将3D阶梯堆叠的字线电连接到访问层中的导电线。