[发明专利]生产和分类多晶硅的方法在审
| 申请号： | 201980095560.0 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113727944A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | T·施勒克;M·温泽伊斯 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;G06T7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于生产和分类多晶硅的方法，该方法包括以下步骤：‑通过将除氢气之外还含有硅烷和/或至少一种卤代硅烷的反应气体引入气相沉积反应器的反应空间中来生产多晶硅棒，其中所述反应空间含有至少一个经加热的细丝棒，在所述细细丝棒上沉积硅以形成所述多晶硅棒，‑从反应器中取出硅棒，‑任选地粉碎硅棒以获得硅块，‑生成硅棒或至少一个硅块的至少一个部分区域的至少一个二维和/或三维图像，并且针对所生成的图像选择至少一个分析区域，‑借助于图像处理方法生成每个分析区域的至少两个表面结构指数，每个表面结构指数是使用不同的图像处理方法生成的，‑组合表面结构指数以形成形态指数。根据形态指数对硅棒或硅块进行分类并将其送到不同的进一步加工步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 分类 多晶 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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