[发明专利]生产和分类多晶硅的方法

权利要求书

1.生产和分类多晶硅的方法，包括：

-通过将除氢气之外还含有硅烷和/或至少一种卤代硅烷的反应气体引入气相沉积反应器的反应空间中来生产多晶硅棒，其中所述反应空间含有至少一个经加热的细丝棒，在所述细丝棒上沉积硅以形成所述多晶硅棒，

-从所述反应器中取出所述硅棒，

-任选地粉碎所述硅棒以获得硅块，

-生成所述硅棒的至少一个部分区域的或至少一个硅块的至少一个二维和/或三维图像，并且对每个所生成的图像选择至少一个分析区域，

-借助于图像处理方法对每个分析区域生成至少两个表面结构指数，每个表面结构指数是使用不同的图像处理方法生成的，

-组合所述表面结构指数以形成形态指数，

其中根据所述形态指数对所述硅棒或所述硅块分类，并送到不同的进一步加工步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述二维图像是在圆顶照明下生成的。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，产生至少两个，优选地至少三个，特别优选地至少四个二维图像，每个二维图像来自不同的视角。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，产生至少两个，优选地至少三个，特别优选地至少四个二维图像，每个二维图像在不同的照明下。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，使用激光作为光源来生成所述三维图像。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，为了生成三维图像，评估激光点和/或激光线在所述硅块的表面上的散射。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述三维图像是借助于激光三角法和/或条状光投影生成的。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述硅棒或所述硅块经由传送带被传送以生成所述二维或三维图像。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过确定灰度共生矩阵作为图像处理方法来生成第一表面结构指数。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，使用排序滤波器作为图像处理方法来生成第二表面结构指数，所述排序滤波器尤其是中值滤波器。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，经由识别相对于凸包络的凹陷的图像处理方法来生成第三表面结构指数。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，借助于线性组合来组合所述表面结构指数以形成所述形态指数。

13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述进一步加工步骤选自以下组中：粉碎、包装、分选、用于质量保证的取样以及这些的组合。