[发明专利]蒸镀单元及具有该蒸镀单元的真空蒸镀装置有效
申请号: | 201980094071.3 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN113574202B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 斋藤修司;横山礼宽 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红;秦岩 |
地址: | 日本神奈川*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种通用性好,维护性佳的蒸镀单元。本发明的蒸镀单元(VU),其具有:收纳蒸镀物质(Vm)的收纳箱(3);以及加热收纳箱内的蒸镀物质的加热装置(4);在收纳箱的一面上形成释放因加热而升华或气化了的蒸镀物质的释放开口(34c),蒸镀单元还具有移动装置(5),其设置在一面开口的容置室(30)内,以朝容置室的开口的方向为上,以使释放开口的位相与该开口相一致的姿态将蒸镀单元设置在容置室内,所述移动装置使蒸镀单元在上下方向上进退。 | ||
搜索关键词: | 单元 具有 真空 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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