[发明专利]MEMS设备及其制备方法、电子设备在审
| 申请号： | 201980086980.2 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113348145A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 罗松成;詹竣凯;游博丞;谢冠宏;方维伦 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 261200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种MEMS设备、包括该MEMS设备的电子设备以及该MEMS设备的制备方法，该MEMS设备的薄膜结构(10)包括位于中间区域的具有第一刚性的第一刚性区域(110)和位于边缘区域的具有第二刚性的第二刚性区域(120)，第一刚性小于第二刚性，第二刚性区域包括至少一个从薄膜结构(10)表面向外延伸的凸起(122)。MEMS设备的制备方法包括提供基板(210)；在基板(210)上形成沟槽(212)；提供薄膜结构(10)。该MEMS设备通过增加支撑结构扩孔时的制程裕度，不会因为扩孔误差导致薄膜结构的第一刚性区域(110)的刚性发生实质性变化，从而避免影响MEMS设备的性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 及其 制备 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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