[发明专利]单晶硅锭的制造方法及单晶硅提拉装置在审
| 申请号： | 201980084363.9 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113302346A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 杉村涉;坂本英城 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以高成品率制造碳浓度低的单晶硅锭的单晶硅锭的制造方法。本发明的单晶硅锭的制造方法的特征在于，在原料熔融工序及晶体培育工序中，采集腔室内的气体，间歇地测量所述采集的气体中的CO气体浓度，通过将测量的CO气体浓度乘以供给至腔室内的不活泼气体的流量来算出CO气体产生率，监视算出的所述CO气体产生率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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