[发明专利]化学气相渗透或化学气相沉积方法在审
| 申请号： | 201980082857.3 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN113242914A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 让·弗朗索瓦·丹尼尔·雷内·波丁 | 申请（专利权）人： | 赛峰集团陶瓷 |
| 主分类号： | C23C16/04 | 分类号： | C23C16/04;C04B35/00;C23C16/26;F16D69/02 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 桑丽茹 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种化学气相渗透或化学气相沉积的方法，该方法至少包括：在多孔衬底的孔隙中或在衬底的表面上形成高温碳，其中将衬底置于反应室中并且由引入反应室的气相形成高温碳，该气相包含至少一种高温碳前体化合物和二氧化碳。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 渗透 沉积 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
