[发明专利]静电过滤器以及具有非对称静电组态的离子植入器在审
| 申请号： | 201980074911.X | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN113016051A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·利坎斯奇;法兰克·辛克莱;常胜武;艾立克·D·赫尔曼森;尼文·H·克雷 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种设备可包括：主腔室；入口隧道，具有延伸到所述主腔室中的入口轴线；以及出口隧道，连接到所述主腔室且界定出口轴线，其中所述入口隧道及所述出口隧道在所述入口隧道与所述出口隧道之间界定小于25度的束弯曲。所述设备可包括：电极装配件，设置在所述主腔室中、所述出口隧道的下侧上；以及抓持装配件，设置在所述主腔室内、处于所述出口隧道的外部孔隙的视线中。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 过滤器 以及 具有 对称 组态 离子 植入 | ||
【主权项】：
暂无信息
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