[发明专利]带金属膜的树脂膜的制造装置和制造方法在审
| 申请号： | 201980071295.2 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112930421A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 大上秀晴 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C25D5/34 | 分类号： | C25D5/34;C23C14/14;C23C14/56;H05K3/18;H05K3/26;C25D5/56 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在金属种子层上通过湿镀法形成的金属膜不易产生针孔的带金属膜的树脂膜的制造装置和制造方法。本发明的带金属膜的树脂膜的制造装置的特征在于，具备：长条树脂膜放卷辊(600)，卷绕有使用真空成膜法成膜有金属种子层的长条树脂膜(601)，该长条树脂膜(601)的层间夹入有长条衬纸(603)；长条衬纸收卷辊(602)，从由所述放卷辊(600)放卷的长条树脂膜分离长条衬纸并将该长条衬纸收卷；湿镀槽(642)～(645)，将分离了长条衬纸的长条树脂膜搬入所述湿镀槽并在该长条树脂膜的金属种子层上形成金属膜；以及长条树脂膜收卷辊(641)，将形成有金属膜的长条树脂膜收卷，对分离了长条衬纸的长条树脂膜的金属种子层表面进行洗涤的大气压等离子体洗涤装置设置在上述放卷辊(600)与湿镀槽之间。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 树脂 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
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