[发明专利]用于监测束轮廓和功率的方法和装置在审
申请号: | 201980059911.2 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN112840432A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 张剑;叶宁;黄丹靖;詹秉达 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | H01J37/22 | 分类号: | H01J37/22;H01J37/02;G01J1/42 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 董莘 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种用于在检查系统中监测束(322)的系统和方法。该系统包括:被配置为收集形成在表面(340)上的束的束斑的图像序列的图像传感器(360),图像序列中的每个图像已经在图像传感器的不同曝光时间被收集;以及被配置为组合图像序列以得出束的束轮廓的控制器(380)。 | ||
搜索关键词: | 用于 监测 轮廓 功率 方法 装置 | ||
【主权项】:
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- 公开了用于图像增强的系统和方法。用于增强图像的方法可以包括获取扫描电子显微镜(SEM)图像。该方法还可以包括模拟与SEM图像的位置相关联的扩散电荷。该方法还可以包括基于SEM图像和扩散电荷来提供增强的SEM图像。
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