[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂在审
| 申请号： | 201980056004.2 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112639615A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 野崎敦靖 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F290/14;G03F7/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种固化性及保存稳定性优异的感光性树脂组合物。并且，本发明提供一种利用上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。感光性树脂组合物包含由式(N1)表示的热产碱剂、以及聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物。式(N1)中，XN表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种，ZN表示氧原子或硫原子，LN为从相邻氮原子连结至XN为止的烃基，且表示构成连结链的原子数为2～6的烃基。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 层叠 制造 方法 半导体 元件 热产碱剂 | ||
【主权项】：
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