[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法在审
申请号: | 201980051407.8 | 申请日: | 2019-08-01 |
公开(公告)号: | CN112534588A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 山崎舜平;奥野直树;本田龙之介 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/8242;H01L27/108;H01L27/1156 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 秦晨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种在高温下也稳定地进行工作的半导体装置。该半导体装置包括金属氧化物、绝缘层、第一导电层、第二导电层及第三导电层,金属氧化物包括第一区域、第二区域及第三区域,第一区域与第一导电层重叠,第二区域与第二导电层重叠,第三区域隔着绝缘层与第三导电层重叠,相对于第三区域的载流子浓度的第一区域的载流子浓度的比值为100以上,相对于第三区域的载流子浓度的第二区域的载流子浓度的比值为100以上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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