[发明专利]负型感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺及固化浮雕图案的制造方法在审
| 申请号： | 201980041387.6 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN112334833A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 平田竜也;村上航平;藤冈孝亘 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;C08F2/50;C08F290/14;C08G73/12;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供可得到高的耐化学药品性和分辨率、且在高温保存试验后能够抑制在Cu层的与树脂层接触的界面产生空隙的负型感光性树脂组合物、及使用其的固化浮雕图案的形成方法。提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：(A)以下的通式(1)所示的聚酰亚胺前体；(B)包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及(C)光聚合引发剂。式(1)中，X |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 以及 使用 聚酰亚胺 固化 浮雕 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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