[发明专利]液剂供给装置以及液剂供给方法有效
| 申请号： | 201980040686.8 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN112334236B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 宫崎浩人;深田和岐;石川和宜;铁婉玉 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10;B05C13/02;B05D1/26;B05D3/00;H05K3/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 液剂供给装置(1)，具备：保持部，保持基板(200)；供给头(20)，配置有向由保持部保持的基板(200)上的多个供给位置(210)供给液剂的多个喷嘴；以及供给头移动部(21)，使基板(200)与供给头(20)相对地移动，供给头移动部(21)，在包括多个供给位置(210)的供给范围内，基板(200)与供给头(20)沿着与供给位置无关而决定的特定的方向相对地移动的第一移动方式，使基板(200)与供给头(20)相对地移动。 | ||
| 搜索关键词： | 液剂 供给 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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