[发明专利]扫描电子显微镜图像中的半监督异常检测在审
| 申请号： | 201980017256.4 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111837229A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 吕劭宇;贺力;S·梵卡泰若曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基于自动编码器的半监督方法用于异常检测。可使用这些方法发现半导体晶片上的缺陷。模型可包含变分自动编码器，例如包含梯形网络的变分自动编码器。无缺陷或干净图像可用于训练所述模型，所述模型随后用于发现缺陷或其它异常。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 图像 中的 监督 异常 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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