[发明专利]扫描电子显微镜图像中的半监督异常检测

权利要求书

1.一种系统，其包括：

晶片检验工具，其经配置以产生晶片的图像，其中所述晶片检验工具包含电子束源及检测器；及

处理器，其与所述晶片检验工具电子通信，其中所述处理器操作经配置以找到所述图像中的一或多个异常的模型，其中仅基于半导体装置的无缺陷训练图像使用半监督机器学习训练所述模型。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述晶片检验工具是扫描电子显微镜。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述模型包含变分自动编码器。

4.根据权利要求4所述的系统，其中所述变分自动编码器包含梯形网络。

5.一种方法，其包括：

在处理器处接收晶片的图像，其中所述处理器操作经配置以找到所述图像中的一或多个异常的模型，其中仅基于半导体装置的无缺陷训练图像使用半监督机器学习训练所述模型；及

使用所述模型确定所述图像中一或多个异常的存在。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述图像是扫描电子显微镜图像。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述训练使用标称图案。

8.根据权利要求5所述的方法，其中所述模型包含变分自动编码器。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述变分自动编码器包含梯形网络。

10.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括使用晶片检验工具获得所述图像。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述晶片检验工具是扫描电子显微镜。

12.根据权利要求5所述的方法，其中所述一或多个异常各自为异常图块或异常区域中的一者。

13.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括：

使用所述处理器在特征空间中确定所述图像与所述无缺陷训练图像之间的距离；及

使用所述处理器基于所述距离而确定所述图像是否是离群值。

14.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括使用所述处理器使用以自动编码器作为产生器且以卷积神经网络作为鉴别器的产生性对抗式网络确定所述图像是否是离群值。

15.一种非暂时性计算机可读存储媒体，其包括用于在一或多个运算装置上执行模型的一或多个程序，其中仅基于半导体装置的无缺陷训练图像使用半监督机器学习训练所述模型，且其中所述模型经配置以：

接收晶片的图像；及

确定所述图像中一或多个异常的存在。

16.根据权利要求15所述的缺陷检测模型，其中所述图像是扫描电子显微镜图像。

17.根据权利要求15所述的缺陷检测模型，其中使用标称图案训练所述模型。

18.根据权利要求15所述的缺陷检测模型，其中所述模型包含变分自动编码器。

19.根据权利要求18所述的缺陷检测模型，其中所述变分自动编码器包含梯形网络。

20.根据权利要求15所述的缺陷检测模型，其中所述模型经配置以执行离群值检测，借此检测异常。