[实用新型]蒸发源的加热装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201922488772.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211522302U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;王辉;赵军 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。本申请的蒸发源的加热装置，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；所述固定件包括第一主体和第二主体；所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。本申请结构简单，使用、操作方便，布置更加合理，不仅能提高加热件的加热效率，还能提高加热件的安装结构稳定性，保证加热件的稳定性，也利于对加热件的保护，最终保证了产品的蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 加热 装置 设备 | ||
【主权项】：
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