[实用新型]蒸发源的加热装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201922488772.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211522302U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;王辉;赵军 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 加热 装置 设备 | ||
1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；
所述固定件包括第一主体和第二主体；
所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。
2.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置，相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连；
所述固定件包括多个固定部，各所述固定部分别用于固定各所述直线段加热件。
3.根据权利要求2所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述固定件包括多个所述第一主体和多个所述第二主体，且所述第一主体与所述第二主体的数量相等；
每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成多个所述固定部，适于固定部分所述加热件；
所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5。
4.根据权利要求3所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成2-10个所述固定部。
5.根据权利要求2所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述固定件包括一个所述第一主体和多个所述第二主体；
多个所述第二主体与所述第一主体相配合形成多个所述固定部，适于固定整个所述加热件；
所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5；
所述第一主体的长度大于首个所述直线段加热件和末个所述直线段加热件之间的距离。
6.根据权利要求5所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，每个所述第二主体与所述第一主体相配合形成2-10个所述固定部。
7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述固定部靠近所述加热件的一侧设置有保护层。
8.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述蒸发源的加热装置还包括加热箱体和温控系统；
所述固定件与所述加热箱体连接，每个所述加热件至少由上下间隔布置的两个所述固定件进行固定；
所述温控系统设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。
9.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述蒸发源的加热装置还包括连接件；
所述加热件包括间隔布置的第一加热件和第二加热件，所述固定件包括用于固定所述第一加热件的第一固定件和用于固定所述第二加热件的第二固定件，所述连接件设置于所述第一固定件与所述第二固定件之间，用于固定蒸发源。
10.一种蒸镀设备，包括蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发源的加热装置。
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