[实用新型]蒸发源的加热装置和蒸镀设备

说明书

本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。本申请的蒸发源的加热装置，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；所述固定件包括第一主体和第二主体；所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。本申请结构简单，使用、操作方便，布置更加合理，不仅能提高加热件的加热效率，还能提高加热件的安装结构稳定性，保证加热件的稳定性，也利于对加热件的保护，最终保证了产品的蒸镀质量。

技术领域

本申请属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件具有更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高等诸多优点，可广泛应用于各种终端设备的显示领域或照明领域。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热转印等多种方式。其中，蒸镀工艺是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

现有的蒸发源(蒸镀源)装置，一般包括盛放有机材料或金属材料的坩埚和对坩埚加热的加热器件。然而，现有的用于为坩埚内的蒸镀材料加热的加热装置，存在装置的稳定性或牢固性较差的问题，尤其是对于加热件的固定存在结构或安装繁琐，稳定性或牢固性差，影响了加热效果，从而导致降低了蒸镀源的蒸镀质量，降低了产品良率。

所以，研发出一种结构简单，安装、使用方便，又能很好的固定加热件的蒸发源的加热装置，将具有很好的市场推广价值。

实用新型内容

本申请的目的之一在于提供一种蒸发源的加热装置，结构简单，安装、使用方便，布置更加合理，能够提高加热装置的结构稳定性，保证蒸镀质量，能够克服上述问题或者至少部分地解决上述技术问题。

本申请的目的之二在于提供一种蒸镀设备，包括所述的蒸发源的加热装置，至少具有与所述蒸发源的加热装置相同的优势。

根据本申请的一个方面，提供一种蒸发源的加热装置，包括加热件和固定件，所述加热件用于对蒸发源加热，所述固定件用于固定加热件；

所述固定件包括第一主体和第二主体；

所述第一主体设置有第一凹槽，所述第二主体设置有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相配合形成固定部，所述固定部能够用于固定所述加热件。

可选的，所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置，相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连；

所述固定件包括多个固定部，各所述固定部分别用于固定各所述直线段加热件。

可选的，所述固定件包括多个所述第一主体和多个所述第二主体，且所述第一主体与所述第二主体的数量相等；

每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成多个所述固定部，适于固定部分所述加热件；

所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5。

可选的，每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成2-10个所述固定部。

可选的，每个所述第一主体与每个所述第二主体相配合形成4-6个所述固定部。

可选的，所述固定件包括一个所述第一主体和多个所述第二主体；

多个所述第二主体与所述第一主体相配合形成多个所述固定部，适于固定整个所述加热件；

所述固定件沿所述直线段加热件长度方向的长度小于所述直线段加热件长度的1/5；