[实用新型]一种平面VDMOS器件有效
申请号: | 201922486621.6 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211455694U | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 马荣耀;王代利;刘中旺;冷静;张鹏程;檀春健 | 申请(专利权)人: | 华润微电子(重庆)有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 401331 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型提供一种平面VDMOS器件,通过未进行电性连接的悬浮栅结构,实现了米勒电容的大大降低,同时也避免了一致性及可靠性问题。在没有任何成本增加的前提下,提高了器件的开关速度,改善器件的动态特性,使得器件在应用中的效率更高;而且,在实际应用中,还可以在一个固有的平台上根据应用的需求,调整栅刻蚀的版图,以实现不同开关速度的产品。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 vdmos 器件 | ||
【主权项】:
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