专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种超结MOSFET及其制作方法-CN202210386541.7在审
  • 李平;马荣耀 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2022-04-11 - 2023-10-24 - H01L29/06
  • 本发明提供一种超结MOSFET及其制作方法,该超结MOSFET包括衬底、缓冲区、第一导电类型柱、第二导电类型柱、体区、源区、体接触区、栅极结构、源极及漏极,其中,缓冲区堆叠于衬底的上方;第一导电类型柱及第二导电类型柱并列邻接于缓冲区的上表面,且第二导电类型柱中设有至少一层包括第二导电类型掺杂层及位于第二导电类型掺杂层中的第一导电类型掺杂区的调控层;体区堆叠于第二导电类型柱上;源区与体接触区邻接且均位于体区的上表层;栅极结构位于第一导电类型柱的上表面;源极覆盖器件的上表面,漏极覆盖衬底的底面。本发明通过于第二导电类型柱中设置至少一层调控层,提高了器件的反向恢复软度因子,缓解了器件输出电容的突变。
  • 一种mosfet及其制作方法
  • [发明专利]一种沟槽栅超结MOSFET及其制作方法-CN202210386520.5在审
  • 李平;马荣耀 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2022-04-11 - 2023-10-24 - H01L29/78
  • 本发明提供一种沟槽栅超结MOSFET及其制作方法,该沟槽栅超结MOSFET包括衬底、缓冲区、第一导电类型柱、第二导电类型柱、体区、源区、体接触区、沟槽栅结构、栅极结构、源极及漏极,其中,缓冲区堆叠于衬底的上方;第一导电类型柱及第二导电类型柱并列邻接于缓冲区的上表面;体区堆叠于第二导电类型柱上;源区与体接触区邻接且均位于体区的上表层;沟槽栅结构贯穿体区及体接触区并延伸至第二导电类型柱中;栅极结构位于第一导电类型柱的上表面;源极覆盖器件的上表面,漏极覆盖衬底的底面。本发明通过于超结MOSFET的体接触区中设置沟槽栅结构,使器件的击穿点位于沟槽栅结构下方,抑制寄生三极管的开启,增加器件的雪崩耐量。
  • 一种沟槽栅超结mosfet及其制作方法
  • [发明专利]一种超结MOSFET及其制作方法-CN202210356421.2在审
  • 李平;马荣耀 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2022-03-30 - 2023-10-24 - H01L29/78
  • 本发明提供一种超结MOSFET及其制作方法,该超结MOSFET包括衬底、缓冲区、第一导电类型柱、第二导电类型柱、体区、源区、体接触区、栅极结构、源极及漏极,其中,缓冲区堆叠于衬底的上方;第一导电类型柱及第二导电类型并列邻接于缓冲区的上表面;体区堆叠于第二导电类型柱上;源区与体接触区邻接且均位于体区的上表层;栅极结构包括栅介质层、第一栅极及位于第一栅极两侧的第二栅极,源极覆盖器件的上表面,漏极覆盖衬底的底面。本发明通过对栅极结构的设计,第一导电类型的第一栅极及至少包括第二导电类型掺杂区的第二栅极代替栅极,降低了漏源电压较低时的米勒电容,不改变漏源电压较高时的米勒电容,且器件的导通电阻不变。
  • 一种mosfet及其制作方法
  • [发明专利]多脉冲测试电路及多脉冲测试方法-CN202210303177.3在审
  • 丁继;唐开锋;马荣耀;徐丹丹 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2022-03-24 - 2023-10-03 - G01R31/327
  • 本发明提供一种多脉冲测试电路及多脉冲测试方法,包括:开关模块,包括串联在供电端和接地端之间的待测器件及电感;充能模块,为测试提供电能;换流模块,包括第一开关,连接于所述充能模块与所述开关模块之间,通过第一开关的通断调整电流流向;所述第一开关与所述待测器件的开关信号相互隔离且同步;当所述待测器件和所述第一开关导通时,从所述充能模块获取能量为所述电感提供能量,当所述待测器件和所述第一开关关断时,将所述电感的能量回收至所述充能模块。本发明的多脉冲测试电路及多脉冲测试方法可以实现对电力电子开关器件的多脉冲测试,测试电路结构简单、成本低廉、节能环保。
  • 脉冲测试电路方法
  • [发明专利]一种过渡区结构-CN201710258517.4有效
  • 马荣耀;刘春华 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2017-04-19 - 2023-09-22 - H01L29/06
  • 本发明提供一种过渡区结构,适用于具有超结结构的半导体器件,包括:衬底;外延层,外延层设置在衬底的上方;多个第一立柱与多个第二立柱形成超结结构;复合结构包括元胞区、终端区及位于元胞区和终端区之间的过渡区;过渡区具有一第二导电类型的第一掺杂区域;元胞区设置有MOS管器件结构,MOS管器件结构设置有具有第二导电类型的第二掺杂区域,用以形成MOS管器件结构的源区或者漏区;临近过渡区的第二掺杂区域通过一设置于外延层内的电阻结构连接第一掺杂区域。本发明的有益效果:在雪崩击穿发生后,由于电阻结构的存在,来自过渡区和终端区的雪崩电流可以更快的扩散到元胞区,从而增大器件抗冲击电流的能力,增大其耐用度。
  • 一种过渡结构
  • [发明专利]一种超结MOSFET器件-CN202111466727.5在审
  • 李平;马荣耀 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2021-12-03 - 2023-06-06 - H01L29/06
  • 本发明提供一种超结MOSFET器件,其包括多个元胞结构,该元胞结构包括漏端电极、N型漏极层、N型缓冲层、N型场终止区、第一P型体区、第二P型体区、第一P柱、第二P柱、N柱、第一N型源区、第二N型源区、第一P型体接触区、第二P型体接触区、栅极结构及源端电极,其中,N型场终止区位于N型缓冲层中,且N型场终止区在N型漏极层上的垂直投影具有间隔区域,N型场终止区的掺杂浓度高于N型缓冲层的掺杂浓度。本发明在N型缓冲层中引入N型场终止区,且所述N型场终止区在N型漏极层上的垂直投影具有间隔区域,不仅可以降低反向恢复电荷、提升反向恢复软度因子,还能够在不增加器件漏电流的条件下降低器件的导通电阻。
  • 一种mosfet器件
  • [发明专利]一种超结MOSFET功率器件-CN202111466732.6在审
  • 李平;马荣耀 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2021-12-03 - 2023-06-06 - H01L29/06
  • 本发明提供一种超结MOSFET功率器件,其包括多个元胞结构,该元胞结构包括漏端电极、N型漏极层、N型缓冲层、第一P柱、第二P柱、P型体区、第一P型掺杂区、N柱、N型源区、P型体接触区、N型掺杂区、第二P型掺杂区、栅极结构及源端电极。本发明的超结MOSFET功率器件的元胞结构中,第一P型掺杂区与源端电极之间通过第二P型掺杂区相连接,相比于直接增加器件的输出电容,本发明仅仅在高频振荡的范围内增加了器件的输出电容,而在正常工作频率范围内输出电容保持不变,因此可以在不增加器件开关损耗的条件下,降低开关过程中的RLC振荡。同时由于本发明并没有降低非平衡载流子的寿命,因此本发明在降低反向恢复电荷的同时,并不会增加器件的漏电流。
  • 一种mosfet功率器件
  • [发明专利]半导体三端器件SOA曲线的测试装置及测试方法-CN202111264862.1在审
  • 徐丹丹;唐开锋;丁继;马荣耀 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2021-10-28 - 2023-05-02 - G01R31/26
  • 本发明提供一半导体三端器件SOA曲线的测试装置及测试方法,测试装置包括:可调功率电源、可调信号电源及控制与人机交互模块,可调功率电源连接待测器件的功率端和接地端,并受控于控制与人机交互模块,为待测器件提供电压值可调的功率电压;可调信号电源连接待测器件的信号端,并受控于控制与人机交互模块,为待测器件提供幅值可调、脉宽时间可调的驱动信号;控制与人机交互模块连接待测器件的功率端和接地端,用于检测不同时间点下待测器件的功率端电压和流经待测器件的电流,并基于检测的电压和电流绘制SOA曲线。通过本发明提供的测试装置及测试方法,解决了现有装置无法固定一个参数调节另一个参数、测试效率低、无能量控制电路等问题。
  • 半导体器件soa曲线测试装置方法
  • [发明专利]超结MOSFET器件-CN202110631921.8在审
  • 廖天;马荣耀;王代利;张鹏程;冷静;刘中旺 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2021-06-07 - 2022-12-23 - H01L29/06
  • 本发明提供一种超结MOSFET器件,包括:第一导电类型的衬底;第一导电类型的缓冲层,位于衬底上;超结结构,位于缓冲层上,超结结构包括沿横向依次交替间隔分布的多个第一导电类型柱和第二导电类型柱,第二导电类型不同于第一导电类型;其中,若干第二导电类型柱局部和/或整体发生偏移,以使第一导电类型柱具有2个以上不同的横向尺寸;第二导电类型的体区,位于第二导电类型柱的上方;源极结构,位于体区内,源极结构包括相互接触的第一导电类型的源区和第二导电类型的欧姆接触区;栅极结构,与第一导电类型柱及源极结构相接触。本发明经改善的结构设计,可使得其电容下降斜率更缓,由此可以有效缓解器件在应用时的电磁干扰等问题。
  • mosfet器件
  • [发明专利]功率晶体管测试系统和测试方法-CN202110526808.3在审
  • 唐开锋;马荣耀;丁继;陈龙;徐丹丹;赵伟能;邓旻熙 - 华润微电子(重庆)有限公司
  • 2021-05-14 - 2022-11-15 - G01R31/26
  • 本发明提供一种功率晶体管的测试系统和测试方法,功率晶体管测试系统包括:第一驱动模块,第二驱动模块,等效寄生参数模块,供电电源,第一电感,第二电感,第一开关,第二开关,第一NMOS管,第二NMOS管;功率晶体管测试系统还包括温控装置,第三NMOS管,第三驱动模块,第四NMOS管及第四驱动模块;功率晶体管的测试系统可以测试功率晶体管或并联晶体管的体二极管反向恢复特性、大电流开启和大电流关断特性或直通上电耐抗短路特性,也可以测试高低温对上述特性的影响;本发明的功率晶体管的测试系统的电路参数可调整,可测试可调参数对功率晶体管特性的影响;位于下半桥的晶体管,不易受外界干扰,方便测试。
  • 功率晶体管测试系统方法

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