[实用新型]一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具

摘要

本实用新型公开了一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，包括六吋底座、五吋板、光罩夹、底座、站脚、第一滑块、压板和第二滑块，所述六吋底座内侧安装有五吋板，六吋底座外侧安装有底座，底座底端安装有站脚，底座侧边中部安装有第一滑块，第一滑块上端安装有压板，压板上端安装有第二滑块，五吋板上方设有光罩夹，光罩夹连接底座侧边。本实用新型结构合理，操作简单，能够有效的对6英寸的掩膜版进行修补工艺，避免将6英寸的掩膜版报废后重新生产，提高了掩膜版的生产效率。