[实用新型]一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具

权利要求书

1.一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，包括六吋底座（1）、五吋板（2）、光罩夹（3）、底座（4）、站脚（5）、第一滑块（6）、压板（7）和第二滑块（8），其特征在于，所述六吋底座（1）内侧安装有五吋板（2），六吋底座（1）外侧安装有底座（4），底座（4）底端安装有站脚（5），底座（4）侧边中部安装有第一滑块（6），第一滑块（6）上端安装有压板（7），压板（7）上端安装有第二滑块（8），五吋板（2）上方设有光罩夹（3），光罩夹（3）连接底座（4）侧边。

2.根据权利要求1所述的适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，其特征在于，所述底座（4）设有两块,底座（4）的形状为U形,每块底座（4）底部设有两个站脚（5）。

3.根据权利要求2所述的适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，其特征在于，所述第一滑块（6）、压板（7）和第二滑块（8）均设有两个，分为两组安装在两块底座（4）上端中部。

4.根据权利要求3所述的适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，其特征在于，所述第一滑块（6）的形状为板状，第二滑块（8）的形状为U形，第一滑块（6）和第二滑块（8）之间安装有压板（7）。

5.根据权利要求3所述的适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，其特征在于，所述压板（7）上设有通孔，通孔设有四个，通孔和第二滑块（8）连接。

6.根据权利要求5所述的适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，其特征在于，所述底座（4）的宽度为180mm，两块底座（4）安装后的长度为220mm。

7.根据权利要求6所述的适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具，其特征在于，所述六吋底座（1）的长度和宽度相同均为152mm，底座（4）和站脚（5）连接后的高度为35mm。