[实用新型]一种五氧化三钛真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201922320853.4 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211142141U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 汪韬;李云 | 申请（专利权）人： | 安徽南芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种五氧化三钛真空镀膜装置，包括设备底座；设备底座固定在地面上，设备底座上设置有镀膜机体，镀膜机体内部设置有若干个镀膜仓，镀膜仓内部密封，镀膜仓下部加工有蒸发仓，蒸发仓内部设置有蒸发装置，镀膜仓顶端通过若干组高压管路与抽真空机连接，镀膜仓内设置有若干组移动轨道，移动轨道上设置有镀膜架，镀膜架的端部设置有密封镀膜门，本实用新型过设置蒸发装置，蒸发装置为能够升降的蒸发装置，在蒸发镀膜的过程中能够通过控制蒸发源与待镀膜件之间的间距进而控制镀膜厚度和镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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