[实用新型]一种五氧化三钛真空镀膜装置

权利要求书

1.一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于；包括设备底座(1)、镀膜机体(2)、镀膜仓(3)、蒸发仓(4)、蒸发装置(5)、镀膜架(6)和密封镀膜门(7)；所述设备底座(1)固定在地面上，所述设备底座(1)上设置有镀膜机体(2)，所述镀膜机体(2)内部设置有若干个镀膜仓(3)，所述镀膜仓(3)内部密封，所述镀膜仓(3)下部加工有蒸发仓(4)，所述蒸发仓(4)内部设置有蒸发装置(5)，所述镀膜仓(3)顶端通过若干组高压管路与抽真空机连接，所述镀膜仓(3)内设置有若干组移动轨道(3-1)，所述移动轨道(3-1)上设置有所述镀膜架(6)，所述镀膜架(6)的端部设置有密封镀膜门(7)，所述密封镀膜门(7)上设置有真空密封圈(7-1)，所述镀膜仓(3)的端部加工有与所述真空密封圈(7-1)配合的密封凹槽(3-2)，所述密封镀膜门(7)外端设置有伸缩支撑装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜仓(3)为筒型密封仓，所述密封仓壁为高强度密封仓壁；

所述蒸发仓(4)为与一组与所述镀膜仓(3)垂直的筒型密封仓，所述蒸发仓(4)底部设置有蒸发装置(5)。

3.根据权利要求2所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸发装置(5)包括一组升降液压缸(5-1)，所述升降液压缸(5-1)设置在所述蒸发仓(4)底部，所述升降液压缸(5-1)顶端设置有蒸发坩埚(5-2)，所述蒸发坩埚(5-2)内设置有蒸发加热网(5-3)，所述蒸发加热网(5-3)设置布置在所述蒸发坩埚(5-2)内端面上。

4.根据权利要求3所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸发加热网(5-3)由若干组并联设置的加热电阻丝组成。

5.根据权利要求1所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜架(6)三组镀膜主架(6-1)，三组镀膜主架(6-1)之间通过一组水平设置的中间放置架(6-2)连接，所述中间放置架(6-2)上设置有若干组镀膜放置架(6-3)，所述中间放置架(6-2)的端部与一组密封镀膜门(7)固定连接，所述镀膜主架(6-1)外端设置有若干组移动滑块(6-4)，所述移动滑块(6-4)上加工有与所述移动轨道(3-1)对应的移动孔，所述镀膜主架(6-1)均通过所述移动孔与所述移动轨道(3-1)的配合关系设置在所述移动轨道(3-1)上。

6.根据权利要求1所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述伸缩支撑装置(8)包括两组伸缩气缸(8-1)，所述伸缩气缸(8-1)对称设置在所述密封镀膜门(7)上，所述伸缩气缸(8-1)的活动端设置有支撑腿(8-2)，所述支撑腿(8-2)的底端设置有支撑板(8-3)。

7.根据权利要求6所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述伸缩气缸(8-1)为无杆气缸。

8.根据权利要求1所述的一种五氧化三钛真空镀膜装置，其特征在于，所述密封镀膜门(7)下端还与一组伸缩支撑架(9)固定连接，所述伸缩支撑架(9)下端设置有移动滚轮(9-1)，所述伸缩支撑架(9)设置在所述镀膜机体(2)下端加工的放置槽内。