[实用新型]一种MEMS麦克风芯片

摘要

本实用新型提供一种MEMS麦克风芯片，包括基材底以及振膜，所述基材底上端边缘位置固定连接第一绝缘板，所述第一绝缘板上端固定连接第二绝缘板，所述第二绝缘板上端固定连接绝缘背极板，所述绝缘背极板内部包裹导体背极板，所述绝缘背极板与基材底之间连接振膜，所述绝缘背极板与基材底之间固定连接至少四个竖向布置的限位柱，至少四个所述限位柱均贯穿振膜。本实用新型提供的MEMS麦克风芯片具有由于导体背极板与振膜在有效振动区产生有效电容，而绝缘背极板与振膜之间不产生电容，从而降低了寄生电容，提高了工作灵敏度，另外限位柱有效阻止振膜横向摆动，提高了使用寿命，并使振膜的振动更准确，提高了芯片的声音效果。