[实用新型]一种电容薄膜加工用蒸镀设备有效
申请号: | 201922295688.1 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211339670U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 徐明强;陈文亮;张勇 | 申请(专利权)人: | 南通百正电子新材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 严志平 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电容薄膜加工用蒸镀设备,包括蒸镀设备主体、清理机构与限位机构,所述清理机构包括玻璃钟罩,所述玻璃钟罩处于蒸镀设备主体顶端一侧,所述蒸镀设备主体顶端表面设置有固定环,所述玻璃钟罩底端表面设置有固定圈,所述固定圈处于固定环顶端表面一侧,所述固定圈顶端一侧设置有压块,所述固定环一端开设有孔洞,且所述压块一端贯穿于孔洞内侧,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过设计了清理机构,能够便捷地将玻璃钟罩进行拆卸与安装,及时将玻璃钟罩进行清理干净,避免玻璃钟罩内部长时间不清理产生结垢现象,通过第一卡槽内壁设计了密封圈,在凸块卡入密封圈内部时,能够提高密封性。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 薄膜 工用 设备 | ||
【主权项】:
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