[实用新型]一种电容薄膜加工用蒸镀设备有效

专利信息
申请号: 201922295688.1 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN211339670U 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 徐明强;陈文亮;张勇 申请(专利权)人: 南通百正电子新材料股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 严志平
地址: 226500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 电容 薄膜 工用 设备
【说明书】:

实用新型公开了一种电容薄膜加工用蒸镀设备,包括蒸镀设备主体、清理机构与限位机构,所述清理机构包括玻璃钟罩,所述玻璃钟罩处于蒸镀设备主体顶端一侧,所述蒸镀设备主体顶端表面设置有固定环,所述玻璃钟罩底端表面设置有固定圈,所述固定圈处于固定环顶端表面一侧,所述固定圈顶端一侧设置有压块,所述固定环一端开设有孔洞,且所述压块一端贯穿于孔洞内侧,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过设计了清理机构,能够便捷地将玻璃钟罩进行拆卸与安装,及时将玻璃钟罩进行清理干净,避免玻璃钟罩内部长时间不清理产生结垢现象,通过第一卡槽内壁设计了密封圈,在凸块卡入密封圈内部时,能够提高密封性。

技术领域

本实用新型属于电容薄膜加工技术领域,具体涉及一种电容薄膜加工用蒸镀设备。

背景技术

蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

现有的蒸镀设备的在使用过后,玻璃钟罩的内壁表面会粘有残留物,容易挡住视线,不易观察的问题,为此我们提出一种电容薄膜加工用蒸镀设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电容薄膜加工用蒸镀设备,以解决上述背景技术中提出现有的蒸镀设备的在使用过后,玻璃钟罩的内壁表面会粘有残留物,容易挡住视线,不易观察的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电容薄膜加工用蒸镀设备,包括蒸镀设备主体、清理机构与限位机构,所述清理机构包括玻璃钟罩,所述玻璃钟罩处于蒸镀设备主体顶端一侧,所述蒸镀设备主体顶端表面设置有固定环,所述玻璃钟罩底端表面设置有固定圈,所述固定圈处于固定环顶端表面一侧,所述固定圈顶端一侧设置有压块,所述固定环一端开设有孔洞,且所述压块一端贯穿于孔洞内侧,所述压块顶端设置有螺栓,所述螺栓底端贯穿于压块内壁处于固定圈顶端外侧,所述固定圈底端设置有凸块,所述固定环顶端开设有第一卡槽,所述凸块处于第一卡槽内侧,所述第一卡槽内壁设置有密封圈。

优选的,所述限位机构包括限位杆,所述限位杆处于蒸镀设备主体底端表面,所述蒸镀设备主体底端表面开设有限位槽,所述限位杆一端处于限位槽内侧,所述限位杆处于蒸镀设备主体外侧的外表面设置有限位块,所述限位块顶端开设有槽体,所述限位杆一端贯穿于槽体内侧,所述限位杆底端设置有垫板,所述限位块外侧设置有转杆,所述限位块外侧开设有第二卡槽,且所述转杆一端处于第二卡槽内侧。

优选的,所述蒸镀设备主体顶端一侧设置有操作台,所述操作台前表面设置有按键,所述按键一侧设置有显示屏。

优选的,所述压块与孔洞为滑动连接,所述固定圈通过压块、螺栓与固定环卡合连接。

优选的,所述固定环截面呈L型,所述固定环固定连接于蒸镀设备主体顶端外侧。

优选的,所述限位杆处于限位槽内壁的外侧顶端设置有挡块,所述限位杆与限位槽为滑动连接。

优选的,所述限位杆外壁设置有第一外螺纹,所述槽体内壁设置有第一内螺纹,所述槽体内壁第一内螺纹通过旋合限位杆的第一外螺纹与限位杆固定连接。

优选的,所述转杆外侧一端设置有第二外螺纹,所述第二卡槽内壁设置有第二内螺纹,所述第二卡槽内壁的第二内螺纹通过旋合转杆的第二外螺纹与转杆固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

(1)通过设计了清理机构,能够便捷地将玻璃钟罩进行拆卸与安装,及时将玻璃钟罩进行清理干净,避免玻璃钟罩内部长时间不清理产生结垢现象,通过第一卡槽内壁设计了密封圈,在凸块卡入密封圈内部时,能够提高密封性,以保证内部的真空状态。

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